多晶硅是用冶金级硅粉通过化学、物理途径提纯制得。多晶硅按纯度分类可以分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。前者是生产太阳能光伏电池的基础材料；后者主要用于半导体工业和电子信息产业。我国的多晶硅生产技术难度大、投资成本高，发展相当缓慢，所需的电子级多晶硅大部分依赖进口。

改良西门子法是一种化学方法，首先利用冶金硅（纯度要求在99.5%以上）与氯化氢（HCl）合成产生便于提纯的三氯氢硅气体（SiHCl3，下文简称TCS），然后将 TCS 精馏提纯， 通过还原反应和化学气相沉积（CVD）将高纯度的TCS转化为高纯度的多晶硅，还原后产生的尾气进行干法回收，实现了氢气和氯硅烷闭路循环利用。
改良西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、最容易扩建的工艺； 目前， 80%以上的多晶硅企业采用改良西门子法（闭环式三氯氢硅还原法）生产多晶硅，该法生产电子级多晶硅具有一定的优势，其沉积速率较快，安全性能较好，但是相比硅烷法（SiH4分解法）具有能耗高、副产品量较高、投资成本大等缺点。

在西门子法制备多晶硅工艺过程中，SiHCl3的纯度直接影响了多晶硅的品质。目前SiHCl3的分离提纯主要采用精馏方法。填料塔具有通量高，操作弹性大，在氯硅烷精馏中得到广泛应用。
填料塔中的填料段有规整填料和散堆填料两种选择，但金属丝网波纹填料造价高、忌堵塞和怕腐蚀；同时散堆填料分离效率低。在这种情况下一般采用金属规整填料，可以克服二者的局限性。孔板波纹填料具有不同的型号，如我们公司的客户常定的填料型号有125Y、250Y、350Y、450Y、500Y、700Y等不同材质的孔板波纹填料。


其中250Y型孔板波纹规整填料是研究历史久，工业应用较广的一种。针对250Y型孔板波纹规整填料，需合理选择塔径，避免塔径偏小发生液泛，塔径过大造成气液分布不均和投资浪费等问题。不锈钢金属孔板波纹填料，保持了丝网波纹填料的几何规则结构特点，薄片加沟纹的结构起到了细分配液体的作用，增强了液体均布和填料润湿的性能，提高了传质效率。